華芯國際鵬城工廠的中央控制室里,三十二塊監控屏幕同時亮著,每一塊都在跳動著不同的數據流。
方明德站在最大的那塊屏幕前面,西裝袖口的扣子在三個小時前就解開了。他的視線緊盯著屏幕右上角那個不斷刷新的數字——晶圓良率實時監控。這個數字就像一根絞索,系在華芯國際所有人的脖子上。
林遠舟站在他身後兩步遠的地方,雙手插在白大褂口袋裡,看起來像是在等公交車。
」方總,您不用一直盯著。」他說。
方明德回過頭,看了他一眼。這位華芯國際的掌門人在商場上見過各種大風大浪,但此刻他的眉心鎖著一個深深的褶皺。
林遠舟當然知道。
華芯國際為了配合7nm蜂巢拓撲方案的量產,幾乎把鵬城工廠最先進的那條線拆了重建。每改一處工藝參數,就是一筆天文數字的開銷。方明德不是在心疼錢——他是在賭。
賭林遠舟的方案能在量產線上復現實驗室的結果。
實驗室流片和工廠量產之間有一道巨大的鴻溝。實驗室里你可以精雕細琢每一片晶圓,工廠里一天要跑成百上千片。溫度波動、光刻對準誤差、刻蝕均勻性——任何一個環節出問題,良率就會像跳水運動員一樣一頭栽下去。
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」第一批晶圓已經進入光刻工序了。」產線負責人周海從側面走過來,遞上一份實時報告。他是華芯國際的老人了,幹了二十年晶圓製造,見過太多實驗室數據漂亮、上了產線卻慘不忍睹的案例。
」第一層光刻對準偏差是多少?」林遠舟問。
周海看了一眼數據:」3.2納米。在規格範圍內。」
」不夠。」
周海愣了一下。」3.2納米已經是我們產線的最好水平了。規格要求是正負5納米——」
」蜂巢拓撲的互連結構是非正交的。」林遠舟走到控制台前,手指點開光刻對準的參數界面,」傳統的曼哈頓布線只有橫豎兩個方向,對準偏差在任何方向上效果一樣。但蜂巢布線有三個方向——0度、60度、120度。3.2納米的偏差如果恰好落在60度方向上,實際等效偏差會放大到……」
他在腦中快速計算了一下。科技樹給他的知識里有一整套蜂巢拓撲量產的工藝適配方案——這些東西比設計方案本身更加寶貴,因為它們意味著這項技術真正從論文變成產品。
」3.7納米。」他說,」還在規格內,但裕量太小。量產的波動會把你推到邊界之外。」
周海的表情變了。
他幹了二十年晶圓製造,第一次遇到一個晶片設計師比他更懂產線參數的。
」你建議怎麼調?」
」光刻機的對準算法里有一個補償因子,通常設為1.0。把它改成0.85,然後在第二層和第三層的曝光序列之間加一步額外的對準校驗。」
周海遲疑了一秒。改對準算法的補償因子不是不可以,但這意味著每片晶圓的光刻時間要增加大約四十秒——一天下來就是幾十片產能的損失。
方明德看了看林遠舟,又看了看周海。
」照他說的做。」
周海點了點頭,轉身去下達指令。
林遠舟重新退回到方明德身後,雙手插回口袋。
方明德低聲說了一句:」你小子,到底是設計晶片的還是造晶片的?」
林遠舟沒回答。他閉上眼睛,在意識空間中看到了科技樹底部那個已經穩定發光的7nm節點。節點周圍環繞著一圈細密的光絲,像脈搏一樣有節奏地跳動。
那是靈感點的實時反饋。每當7nm技術在現實中更進一步,光絲就跳動得更快。
現在,它在等待。
等待第一批量產晶圓跑完全部工序。
等了十八個小時。
方明德中間離開了兩次,去處理公司的其他事務。周海換了三個班次的工程師。連趙愷都從研究院跑過來了,帶了兩大袋零食和四罐紅牛,聲稱」精神支持也是支持」。
只有林遠舟一直在控制室里。他沒有緊張——科技樹給他的知識告訴他,只要工藝參數調到位,結果不會差。但量產不是實驗室,變量太多,他必須盯著每一個環節。
凌晨三點十七分,第一批晶圓完成了全部工序。
測試探針接觸晶圓表面的那一刻,控制室里所有人都不由自主地屏住了呼吸。
數據開始在屏幕上跳動。
一顆晶片。通過。
兩顆晶片。通過。
十顆、二十顆——
周海瞪大了眼睛。
」良率……」他的聲音有點發顫,」第一片晶圓,Good Die數量——」
他咽了一口唾沫。
」83%。」
控制室里有人倒吸了一口冷氣。量產線上的第一片晶圓就做到83%——這在7nm工藝上幾乎是不可想像的。通常第一批量產的良率只有實驗室數據的一半甚至更低。
但林遠舟皺了一下眉。
83%。比實驗室的87%低了四個百分點。
」等一下。」他走到測試終端前,調出了失效晶片的分布圖。每一顆不合格的晶片在晶圓上的位置被標記為紅色光點——他盯著這些紅點看了十秒鐘。
」規律性失效。」他說。
周海湊過來看:」你是說——」
」你看這些失效晶片的分布。」林遠舟用手指在屏幕上畫了一條線,」不是隨機的,是沿著晶圓的徑向呈環形分布。這說明問題出在旋塗工序——光刻膠的厚度在晶圓邊緣區域有系統性偏差。」
他轉向周海:」你們的勻膠機轉速是多少?」
」3200轉/分。」
」改成3350。旋塗時間從30秒延長到35秒。」
周海記下了參數,但他的表情說明他沒完全理解為什麼這樣改就能解決問題。林遠舟也沒解釋——有些事情解釋起來太複雜,不如直接看結果。
第二批晶圓在六個小時後出爐。
良率:86%。
第三批。
88%。
第四批——參數完全穩定之後——
91%。
九十一。
周海的手真的在抖了。他在華芯國際幹了二十年,7nm良率最高紀錄是實驗室條件下的53%。國際上最先進的代工廠,環球晶圓和極星電子,量產良率也不過70%出頭。
91%。
這個數字出現在屏幕上的時候,控制室里安靜了大約五秒鐘,然後爆發出一陣壓抑不住的歡呼聲。
方明德的手機在這時候響了。他看了一眼來電顯示,走到角落接了電話。
林遠舟沒有去聽他在說什麼,但他注意到方明德的聲音在微微發抖——不是恐懼,是一種他從未在這個商業老手臉上見過的情緒。
像是難以置信。
十分鐘後,方明德掛了電話,走回來。他的眼眶有一點點泛紅,但表情已經恢復了那種特有的精明和沉穩。
」剛才是京都的電話。」他說,」科技委那邊已經知道了。」
」這麼快?」趙愷從零食堆里探出頭來。
」這種事情不可能瞞住。」方明德看著林遠舟,」工廠里幾百號人,產線數據系統和科技委有聯動。第一片晶圓83%的數據出來的那一刻,他們就知道了。」
他頓了一下:」科技委的意思是——儘快準備新聞發布會。」
林遠舟抬起頭。
」現在的良率數據已經足夠支撐量產了。」方明德說,」7nm自主晶片,良率91%,全面達到國際一線水平。這個消息,該讓全世界知道了。」
此刻,在林遠舟的意識深處,科技樹發出了一聲低沉的嗡鳴。
靈感點數值開始跳動。
**「技術產品量產上市 — 靈感點 +1500」**
**「打破行業封鎖 — 靈感點 +500」**
**「當前靈感點:2010」**
兩千零一十點。
上次流片成功給了他500點。而量產——把實驗室的東西變成真正的產品,打入市場,改變行業格局——系統給出的獎勵是實驗室的四倍。
這印證了他之前的猜測:科技樹獎勵的不是研究,而是落地。不是你」知道」什麼,而是你」做到」了什麼。
他在意識中展開科技樹的全景。左線上方,5nm工藝節點穩定地發著光,旁邊那個若隱若現的」多重曝光替代方案」需要200靈感點——現在他有2010,綽綽有餘。
但他沒有急著解鎖。
因為更遠的地方,有一個更大的節點在等著他。
**「碳基晶片 | T2突破級 | 所需靈感點:500」**
如果說7nm和5nm是在現有賽道上追趕,那碳基晶片就是換一條全新的賽道。矽基半導體的物理極限就在那裡——再怎麼優化,也逃不出矽的天花板。碳基晶片意味著徹底推翻棋盤。
但現在不是想這些的時候。
趙愷不知道什麼時候湊到了他身邊,手裡還攥著半包薯片。
」遠舟。」趙愷的聲音難得地認真,」我剛才看數據的時候,手都在抖。你知道嗎?91%。我入行這麼多年,從來沒見過這種數字出現在量產線上。你到底是怎麼做到的?」
林遠舟看了他一眼。趙愷的眼睛裡有興奮、有佩服,還有一絲他試圖掩飾但沒藏住的困惑。
」你是不是覺得我最近很不正常?」林遠舟反問。
趙愷的嘴巴動了動,薯片碎屑從嘴角掉下來。他顯然被這個直球打了個措手不及。
」我沒——」
」你想了很久了。」林遠舟平靜地說,」從7nm方案那晚開始,你就一直在觀察我。不用解釋,換成我也會覺得奇怪。」
趙愷沉默了一會兒。周圍工程師們還沉浸在慶祝的氣氛中,沒人注意到角落裡這兩個人的對話。
」我不知道你經歷了什麼。」趙愷最終說,」但我知道一件事——你比以前強太多了,不是那種'進步了一點'的強,是那種完全變了一個人的強。老實說,我有時候會害怕。」
」怕什麼?」
」怕這種好事來得太突然。」趙愷的圓臉上罕見地沒有笑容,」天上掉餡餅的故事,從來沒有好結局。」
林遠舟沉默了幾秒。
趙愷說得對。天上掉的東西,從來不是免費的。科技樹給了他前所未有的知識,但這些知識的代價是什麼?那個在迷霧深處跳動的另一團光又意味著什麼?
他還沒有答案。
但他知道一件事——有些路一旦走上去,就不可能回頭了。
」走一步看一步吧。」他拍了拍趙愷的肩膀,」先把量產的事情做好。」
新聞發布會定在三天後。
三天時間,林遠舟協助華芯國際完成了最後的產品測試和數據整理。每一顆」崑崙一號」晶片都經過了完整的功能測試和老化篩選,性能數據穩定得讓周海團隊嘖嘖稱奇。方明德親自審核了所有對外發布的技術指標——他是商人,知道數據公布出去就是承諾,不能有半點水分。
第一款基於蜂巢拓撲架構的7nm晶片被命名為」崑崙一號」——這是陳正華親自定的名字。老院長在給晶片命名的時候少見地笑了,說」崑崙是華國的脊樑山脈,我們做的晶片也該有這個骨氣」。
發布會當天,鵬城國際會展中心的新聞廳坐滿了人。國內所有主流媒體、十幾家國際通訊社、半導體行業的分析師和投資人。方明德穿了他最貴的那套西裝,頭髮梳得一絲不苟。
陳正華坐在第一排。他今天沒穿白大褂,換了一套深色中山裝。六十二年的風雨刻在他的臉上,但腰板依然挺得筆直。
林遠舟站在台下角落裡。他不喜歡站在聚光燈下——這不是他的戰場。
方明德的聲音通過話筒傳遍全場:」今天,華芯國際正式發布自主研發的7nm製程晶片——崑崙一號。」
大屏幕上亮起了晶片的顯微照片。蜂巢拓撲結構的六角形排列在放大後呈現出一種異樣的美感——不同於傳統晶片整齊劃一的網格,它更像是大自然中蜂巢的精密結構。
」崑崙一號採用全球首創的蜂巢拓撲架構,量產良率達到91%,主要性能指標達到國際一線水平。這標誌著華國在7nm晶片領域實現了完全自主可控。」
現場的快門聲像暴雨一樣密集。
國際通訊社的記者們飛速敲擊著筆記本鍵盤——這條新聞將在一小時內傳遍全世界。
林遠舟不在意這些。他的注意力在另一個地方。
發布會直播信號通過衛星覆蓋全球。此刻,在太平洋另一端,芯谷一間燈光昏暗的實驗室里,直播畫面投射在一面巨大的落地窗上。
一個金髮男人背對著窗戶坐在轉椅上,修長的手指交叉搭在膝蓋上。屏幕上方明德的聲音被翻譯成英文字幕滾動著——」完全自主可控」、」蜂巢拓撲」、」量產良率91%」。
維克多·科瓦列夫沒有看屏幕。
他閉著眼睛,嘴角微微上揚,像是在聽一首有趣的曲子。
」Dr. Kovalev?」一個助手推門進來,」華國發布了——」
」我知道。」維克多的聲音低沉而平靜,帶著一絲斯拉夫口音,」7nm,蜂巢拓撲,良率91%。很好的成績。」
」您不擔心嗎?這會影響到我們在材料分支上的——」
」擔心?」維克多睜開眼睛。
那雙冰藍色的眼睛裡沒有恐懼,甚至沒有緊張。有的只是一種獵手看到獵物終於出現時的興奮。
」不。」他說,」我等這一天很久了。」
他轉過身,面對落地窗上的直播畫面。畫面正好切到發布會現場的遠景——人頭攢動中,角落裡有一個穿白大褂的年輕人正低頭看著什麼。
維克多盯著那個模糊的身影看了三秒。
然後他笑了。
」終於開始有意思了。」