矽單晶成功的消息，第二天就傳到了一機部。
鄭振邦親自來了。
他帶著電工局的幾個幹部，一進廠就直奔實驗室。
「小陸！「鄭振邦一進門就喊，「矽單晶呢？快讓我看看！「
陸承宇把那根矽單晶拿出來，放在桌上。
鄭振邦拿起來，翻來覆去地看，像個孩子拿到了新玩具。
「這就是矽單晶？「他嘖嘖稱奇，「跟鏡子似的，真光滑。這東西，真能做電晶體？「
「能，「陸承宇說，「矽單晶是做電晶體的基礎材料。有了它，我們就能做矽電晶體了。「
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「好！好啊！「鄭振邦激動地拍著桌子，「小陸，你可給咱們部里長臉了！蘇聯專家說咱們三年都搞不出矽單晶，你一個多月就搞出來了！對了，伊萬諾夫那邊聽說了消息，昨天給部里發了封電報，就一句話——「我等著第三瓶伏特加。「這老毛子，還記著賭約呢！「
他從包里拿出一份文件，遞給陸承宇。
「部里研究決定了，廣交會的十一萬美元創匯，全部留廠自用，不收回。另外，部里再追加二十萬設備採購專項經費。還有，調人的權力給你，全國範圍內，你看上誰，我就給你調誰。「
十一萬美元全部留廠，再加二十萬人民幣。
陸承宇眼睛亮了。有了這筆錢，很多之前想做但沒錢做的事，現在都能做了。
「謝謝鄭局長。「
「謝什麼，「鄭振邦擺擺手，「這是你應得的。對了，矽電晶體，什麼時候能做出來？「
「快的話，三個月，「陸承宇說，「慢的話，半年。「
「好！「鄭振邦一拍大腿，「我等你的好消息！「
送走鄭振邦，陸承宇拿著文件，站在實驗室里，深吸了一口氣。
錢有了，人有了，政策有了。但他也知道，錢只是基礎。真正難的，是工藝。
從矽單晶到電晶體，還要經過外延、擴散、光刻、金屬化、封裝測試，五六道工序，每一道都是難關。
「曹文三，「陸承宇說，「把卓邵文、陳總工，還有物理所來的那幾個年輕人叫過來，開個會。「
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會議室里，陸承宇把電晶體的工藝流程寫在黑板上。
「從矽單晶到電晶體，一共六步，「他說，「第一步，外延。在矽單晶片上生長一層很薄的單晶矽層，這層矽的純度更高，缺陷更少，是電晶體的有源區。「
「第二步，擴散。在外延層上擴散雜質，形成發射區和基區。「
「第三步，光刻。在矽片上刻出圖形，定義電晶體的各個區域。「
「第四步，金屬化。在矽片上沉積金屬，形成電極。「
「第五步，封裝。把晶片封裝起來，接上引腳。「
「第六步，測試。測試電晶體的性能參數。「
他頓了頓，又說：「這六步里，最難的是光刻。國內沒有光刻膠，也沒有光刻機。這一步，我們得自己想辦法。「
卓邵文問：「陸工，光刻膠是什麼？「
「光刻膠是一種光敏材料，「陸承宇說，「塗在矽片上，曝光之後，曝光的地方會溶解或者不溶解，這樣就能把圖形轉移到矽片上。國內現在沒有這種東西，得自己配。「
「自己配？「卓邵文愣了一下，「能配出來嗎？「
「能，「陸承宇說，「我查過資料，光刻膠的原理不複雜。雖然精度不如進口的，但做微米級的圖形，應該夠用。「
他說的輕鬆，但心裡也沒底。光刻膠是半導體工藝的核心材料之一，配方和工藝都是保密的。他只能憑記憶里的原理，自己摸索。
「先從外延開始，「陸承宇說，「外延相對簡單，我們先把外延做出來，再一步步往下走。「
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外延工藝，陸承宇選擇了四氯化矽氫氣還原法。
矽烷是易燃易爆的劇毒氣體，國內根本買不到。四氯化矽是化工產品，國內能買到，氫氣可以用電解水的方法自制。
外延爐是李根生幫忙做的，一個石英管反應室，加一個加熱爐，再加上氣體控制系統。
第一次外延，失敗了。
生長出來的矽層，表面粗糙，像磨砂玻璃，根本不是單晶。
陸承宇用剛解鎖的缺陷溯源看了一下，很快找到了原因——矽片清洗不乾淨，表面有殘留的油污和顆粒，導致外延層成核不均勻。
「矽片清洗是第一步，也是最關鍵的一步，「陸承宇對曹文三說，「重新配清洗液，王水加氫氟酸，每片洗三遍，最後用去離子水沖乾淨。「
第二次外延，表面光滑了一些，但還是有缺陷。
缺陷溯源顯示，是氫氣純度不夠。電解水制的氫氣里含有微量的氧氣和水蒸氣，在高溫下和矽反應，生成二氧化矽雜質。
「陳總工，「陸承宇找到陳景潤，「氫氣純度不夠，您有什麼辦法？「
陳景潤想了想：「可以在氫氣通路上加一個鈀管過濾器。鈀在高溫下只允許氫氣透過，其他氣體都過不去。電子管廠里有鈀管，我給你找一根。「
加了鈀管過濾器之後，氫氣純度提高到了六個九。
第三次外延，又失敗了。
這一次，表面光滑了，缺陷也少了，但厚度不均勻——中間厚，兩邊薄，偏差有一微米多。
「溫度不均勻，「陸承宇說，「反應室中間溫度高，兩邊溫度低，導致生長速度不一樣。得調整加熱爐的溫區。「
他在沙盤裡模擬了半夜，重新設計了加熱爐的溫區分布，又加了一個旋轉基座，讓矽片在生長過程中緩慢旋轉。
第四次外延，終於成功了。
生長出來的外延層，表面光滑，厚度均勻，缺陷密度很低。
「檢測一下。「陸承宇說。
卓邵文拿著儀器測了半天，抬起頭，很興奮。
「外延層厚度五微米，偏差小於零點一微米，缺陷密度每平方厘米小於五十個！陸工，成功了！「
陸承宇鬆了一口氣。
外延，搞了半個月，試了四次，終於搞定了。
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接下來是擴散。
擴散工藝，陸承宇選擇了固態源擴散。把硼源和磷源放在石英舟里，和矽片一起放進擴散爐，在高溫下，雜質原子擴散進矽片，形成PN結。
擴散比外延簡單，但也不是一帆風順。
第一次擴散，結深不均勻，中間深兩邊淺。原因是擴散爐的溫區不均勻，和外延爐一樣的問題。
陸承宇調整了溫區，第二次擴散，結深均勻了，但雜質濃度偏高，導致擊穿電壓不夠。
「硼源放多了，「陸承宇說，「減少硼源的量，延長擴散時間，讓雜質慢慢擴散進去。「
第三次擴散，終於成功了。
PN結的性能很好，反向漏電流很小，擊穿電壓也夠高。
「擴散也搞定了，「曹文三興奮地說，「陸工，接下來就是光刻了吧？「
「對，「陸承宇說，「光刻，是最難的一步。「
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光刻的難題，比想像中還大。
首先是光刻膠。
陸承宇按照記憶里的配方，用聚乙烯醇加重鉻酸銨，配了一種光刻膠。塗在矽片上，烘乾，然後用照相底片做掩膜版，曝光。
但第一次曝光，就失敗了。光刻膠的靈敏度太低，曝光了十分鐘，還是沒有反應。
「光敏劑的濃度不夠，「陸承宇說，「加大重鉻酸銨的比例。「
調整配方，第二次曝光。這一次，有反應了，但解析度太低，線條粗得像麵條，根本做不了精細的圖形。
他試了各種方法，調整曝光時間，調整顯影液濃度，調整烘乾溫度……試了十幾次，還是不行。
曹文三有點泄氣了：「陸工，這光刻膠，是不是咱們自己配不出來啊？要不，想想辦法進口？「
「進口？「陸承宇搖搖頭，「美國對我們禁運，光刻膠是戰略物資，根本買不到。「
他站在實驗室里，看著桌上的矽片和光刻膠，陷入了沉思。
光刻膠的問題，必須解決。沒有光刻，就做不了電晶體。
他閉上眼睛，打開沙盤，在沙盤裡模擬光刻膠的配方和工藝。沙盤模擬了上百種配方，終於找到了一種可行的方案——用聚乙烯醇肉桂酸酯做光刻膠，靈敏度和解析度都比重鉻酸銨體系好很多。
但肉桂酸酯，國內也買不到。
「得自己合成。「陸承宇喃喃地說。
他查了資料，肉桂酸酯可以用肉桂酸和聚乙烯醇反應合成。肉桂酸是香料原料，國內能買到。
「卓邵文，「陸承宇說，「你去化工學院問問，能不能幫忙合成聚乙烯醇肉桂酸酯。「
「好！「卓邵文立刻去了。
三天後，卓邵文回來了，帶著一小瓶淡黃色的液體。
「陸工，合成出來了！化工學院的王教授幫忙做的，他說這東西叫光刻膠，是做印刷版用的。「
陸承宇接過那瓶光刻膠，笑了。印刷版用的光刻膠，和半導體用的，原理是一樣的。雖然精度差一些，但湊合用。
他立刻開始試驗。塗膠，烘乾，曝光，顯影，定影。
這一次，終於成功了。光刻出來的圖形，線條寬度能做到五微米，雖然比進口的差遠了，但做電晶體，夠用了。
「成功了！「曹文三激動地跳了起來，「陸工，光刻也搞定了！「
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接下來是金屬化和封裝。
金屬化用真空蒸發鍍膜，蒸一層鋁，然後光刻出電極圖形。
第一次蒸鋁，鋁膜附著力不好，用膠帶一粘就掉。
「矽片表面有氧化層，「陸承宇用缺陷溯源看了一下，「蒸鋁之前，先用氫氟酸漂一下，去掉表面的氧化層，然後立刻進鍍膜機。「
調整之後，鋁膜附著力好了很多。
但刻蝕的時候又出了問題——鋁膜刻蝕不均勻，有些地方過刻蝕，把下面的矽都腐蝕了。
「刻蝕液濃度太高，「陸承宇說，「稀釋一下，縮短刻蝕時間。「
又試了兩次，金屬化終於搞定了。
封裝用陶瓷管殼，金絲鍵合。金絲鍵合是個精細活，國內沒有鍵合機，全靠手工。
劉德順推薦了一個老鉗工，姓周，手特別穩。周師傅練了一個星期，才能把直徑二十微米的金絲，準確地焊在晶片的電極上。
第一次鍵合，一百個管子，只成功了三十個。
「手還是抖，「周師傅說，「再練練，能到五六十個。「
又練了一周，成功率提高到了六十個。
「夠用了，「陸承宇說，「先流一批試試。「
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從矽單晶成功，到全部工藝打通，花了兩個多月。
外延搞了半個月，擴散搞了一周，光刻搞了一個月，金屬化和封裝又搞了半個月。每一步都有失敗，每一步都有調整。
但終於，所有工序都打通了。
第一批矽電晶體，終於可以流片了。
流片那天，實驗室里又擠滿了人。
陸承宇、卓邵文、曹文三、陳景潤、物理所來的三個年輕人，還有李根生和周師傅，都來了。
林硯秋也來了，她站在門口，手裡拿著保密登記本，給每一個進來的人登記。
「都準備好了嗎？「陸承宇問。
「準備好了！「所有人齊聲回答。
陸承宇穿上白大褂，戴上手套，走到工作檯前。
矽片已經清洗乾淨，放在石英舟里。他小心翼翼地把石英舟推進外延爐，關上爐門，打開氣體閥門。
氫氣和四氯化矽的混合氣體，緩緩流入反應室。
溫度升到一千一百五十度。
所有人都屏住了呼吸，盯著外延爐的溫度表。
這一片矽片上，有一百個電晶體。
如果成功，中國就有了自己的矽電晶體。
如果失敗……
陸承宇沒有想下去。
他看著溫度表的指針慢慢穩定在一千一百五十度，剛鬆了一口氣。
突然，指針猛地晃了一下，然後開始瘋狂上升。
一千一百六十度、一千一百八十度、一千兩百度……
「溫控系統故障！「卓邵文臉色大變。
陸承宇的瞳孔驟縮。
矽片還在爐子裡。如果溫度失控，這一爐矽片，全廢了。